ICS 77. 040. 01 H 17 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 8758—2006 代替GB/T8758—1988 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference 2006-07-18 发布 2006-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国 国家标准 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 GB/T8758—2006 * 中国标准出版社出版发行 北京西城区复兴门外三里河北街16号 邮政编码：100045 http://www.spc.net.cn 电话：(010)51299090、68522006 2006年10月第一版 * 书号：155066：1-28139 版权专有 侵权必究 举报电话：（010)68522006 GB/T8758—2006 前言 本标准是对GB/T8758一1988《砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法》的修订。 本标准自实施之日起代替GB/T8758—1988。 本标准与GB/T8758一1988相比主要变动如下： 表示法。 一原标准规定，为测定仪器的波长精度和重复性，要测量聚苯乙烯膜的吸收带十次。但未规定是 按固定周期还是在每次测量前做这项工作，也没有规定如果在这十次测量结果中出现一次或 几次不符合要求时应如何处理，不便于实际操作。修改后规定为每次打开仪器按仪器说明书 的要求预热一定时间后，在正式测量前进行一次测量聚苯乙烯膜的吸收带的校准。 本标准的附录A为资料性附录。 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。 本标准起草单位：北京有色金属研究总院。 本标准主要起草人：王彤涵。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会负责解释。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： GB/T 87581988。 I GB/T8758—2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 1范围 本标准适用于砷化镓外延片外延层厚度的测量，测量厚度大于2um。要求衬底材料的电阻率小于 0.022·cm，外延层的电阻率大于0.12·cm。 2原理 衬底材料与外延层的光学常数差别较大，当红外光人射到外延片表面时，在反射光谱中产生干涉条 纹。根据干涉条纹的极大值或极小值的波长位置、衬底材料和外延层的光学常数以及光束的入射角，可 计算出外延层的厚度。 3仪器 3.1双光束红外分光光度计或傅立叶红外光谱仪，波长范围为2.5am～50μm，或波数范围为 4000cm-l~200cm-l。 3.2仪器的波长和波长重复性误差不大于0.05μm。在10um处光谱分辨率为0.02μum或更好。 3.3仪器应配有反射附件，人射角不大于30。仪器应配有黑体材料制成的多种孔径的光阑， 4样品 4.1用于测量的样品应具有良好的光学表面，不应有大面积的钝化层。 4.2衬底和外延层的导电类型及衬底的电阻率应是已知的。 5测量过程 5.1仪器校准 5.1.1打开仪器，按说明书的要求进行预热。测量厚度为300μm～500μm的聚苯乙烯膜的吸收光 谱，核对3.303μm吸收带，其结果应满足3.2的要求。 5.1.2安装反射附件后测量100%线，其峰谷值差应小于8%。 5.2选择扫描速度 安装反射附件。选择衬底和外延层电阻率分别为0.008Q·cm和0.122·cm并且在波长大于 25μm处仍能观察到极值的外延片，使用最慢的扫描速度记录大于25μm处的极小值的波长位置。逐 步提高扫描速度，观察极小值波长位置的变化，允许使用的最快扫描速度与最慢扫描速度得到的相应极 小值波长之差应小于士0.1μm。 5.3测量 5.3.1把待测样品放置于反射附件的窗口上，测量点对准窗口，记录反射光谱。扫描速度满足5.2的 要求。 5.3.2在低于极大值或高于极小值满刻度的约3%处作水平线，该线与反射光谱线两焦点的中点位置 即为极值的波长位置。 5.3.3如反射光谱线的峰值幅度与噪声幅度之比小于5，则不能用于计算外延层厚度， 6计算 6.1由公式（1)确定各个极大值和极小值的级数。若入，为极大值，则P，计算值取整数，若入，为极小