(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221072980.2 (22)申请日 2022.05.07 (73)专利权人 大连地拓电子 工程技术有限公司 地址 116000 辽宁省大连市高新 技术产业 园区广贤路133号赛伯乐大厦4层A 434 室 (72)发明人 赵小江　于超　尹波　 (51)Int.Cl. F16F 15/023(2006.01) F16F 15/08(2006.01) (54)实用新型名称 一种主被动并联的防微振 装置 (57)摘要 本实用新型提供了一种主被动并联的防微 振装置， 包括顶板和支腿， 所述支腿为四根， 所述 支腿顶部连接有被动隔振装置， 所述被动隔振装 置顶部分别与顶板底部的四个角处连接， 所述支 腿上端之间连接有上横梁， 所述上横梁顶部中间 位置安装有空气弹簧， 所述空气弹簧顶部与顶板 底部连接， 所述支腿下端连接有下横梁， 所述下 横梁为两根分别连接在左侧、 右侧两个支腿之 间， 所述下横 梁与后侧的两个支腿之间连接有支 撑板， 所述上横梁上分别安装有速度传感器和位 移传感器， 所述支撑板上安装有控制器。 本实用 新型系统固有频率能现实小于0.5Hz， 对0.5Hz~ 150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果， 适用范 围较广。 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 CN 217207501 U 2022.08.16 CN 217207501 U 1.一种主被动并联的防微振装置， 包括顶板和支腿， 其特征在于， 所述支腿为四根， 所 述支腿顶部连接有被动隔振装置， 所述被动隔振装置顶部分别与顶板底部的四个角处连 接， 所述支腿上端之 间连接有 上横梁， 所述上横梁顶部中间位置安装有空气弹簧， 所述空气 弹簧顶部与顶板底部连接， 所述支腿下端连接有下横梁， 所述下横梁为两根分别连接在左 侧、 右侧两个支腿之 间， 所述下横梁与后侧的两个支腿之 间连接有支撑板， 所述上横梁上分 别安装有速度传感器和位移传感器， 所述支撑板上安装有控制器， 所述被动隔振装置由四 根圆柱形橡胶棒竖立组成矩形 形状。 2.根据权利要求1所述的一种 主被动并联的防微振装置， 其特征在于， 所述顶板由不锈 钢板制成矩形 结构。 3.根据权利要求1所述的一种 主被动并联的防微振装置， 其特征在于， 所述支腿由方形 钢管制成， 所述支腿内部还浇筑有混凝 土。 4.根据权利要求1所述的一种主被动并联的防微振装置， 其特征在于， 所述上横梁、 下 横梁均由方 形钢管制成。 5.根据权利要求1所述的一种 主被动并联的防微振装置， 其特征在于， 所述支撑板由不 锈钢板制成矩形 结构。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217207501 U 2一种主被动并联的防微振 装置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及隔振 装置技术领域， 具体是一种主被动并联的防微振 装置。 背景技术 [0002]目前半导体行业飞速发展， 半导体生产设备的精度要求越来越高， 设备对微振动 等环境的要求也越来越敏感， 少许的微振动就会降低设备 的产出良率， 甚至使设备不能正 常工作， 因此对微振动的隔离变得越来越重要。 [0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度 与超精密加工装备制 造精度的关键因素之一， 高性能精密 隔微振技术成为精密工程、 超精 密制造等领域的一项核心关键技术， 对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。 振 动控制部分是隔振平台的核心， 针对中高频振动， 多采用被动隔振， 被动隔振结构简单、 工 作可靠、 不依赖电源， 可以有效地隔绝中高频振动干扰。 针对低频甚至或超低频振动， 多采 用主动隔振， 气动主动隔振自适应性好， 通过作动器输出反向力抵消 低频振动， 具有优越的 低频或超低频隔振性能。 但精密仪器所处的环境是复杂的， 不仅仅是单一的低频振动 或高 频振动， 往往是低频振动和高频振动同时存在， 而传统的气动隔振装置很难满足这种复杂 环境振动的隔振要求， 适用范围较窄。 实用新型内容 [0004]实用新型的目的在于提供一种主被动并联的防微振装置， 以解决上述背景技术中 存在的问题。 [0005]本实用新型的技 术方案是这样实现的： [0006]一种主被动并联的防微振装置， 包括顶板和支腿， 所述支腿为四根， 所述支腿顶部 连接有被动隔振装置， 所述被动隔振装置顶部分别与顶板底部的四个角处连接， 所述支腿 上端之间连接有上横梁， 所述上横梁顶部中间位置安装有空气弹簧， 所述空气弹簧顶部与 顶板底部连接， 所述支腿下端 连接有下横梁， 所述下横梁为两根分别连接在左侧、 右侧两个 支腿之间， 所述下横梁与后侧的两个支腿之间连接有支撑板， 所述上横梁上分别安装有速 度传感器和位移传感器， 所述支撑 板上安装有控制器。 [0007]进一步地， 所述被动隔振 装置由四根圆柱形橡胶棒竖立组成矩形 形状。 [0008]进一步地， 所述顶板由不锈钢板制成矩形 结构。 [0009]进一步地， 所述支腿由方 形钢管制成， 所述支腿内部还浇筑有混凝 土。 [0010]进一步地， 所述上横梁、 下横梁均由方 形钢管制成。 [0011]进一步地， 所述支撑 板由不锈钢板制成矩形 结构。 [0012]本实用新型的有益效果 为： [0013]本实用新型通过四根橡胶 棒组成的被动隔振装置实现承重和高频隔振， 并通过空 气弹簧实现低频隔振， 系统固有频率能现实小于0.5Hz， 对0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较 好的隔振效果， 适用范围较广。说　明　书 1/2 页 3 CN 217207501 U 3