(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221342252.9 (22)申请日 2022.05.31 (73)专利权人 卓尔半导体设备 （苏州） 有限公司 地址 215000 江苏省苏州市苏州工业园区 夷陵山街35号协创科技园7幢5楼509 室 (72)发明人 何飞　李全威　 (74)专利代理 机构 苏州创元专利商标事务所有 限公司 3210 3 专利代理师 范晴　章荣 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/88(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于芯片视 觉检测的相机微调平台 (57)摘要 本实用新型公开了一种用 于芯片视觉检测 的相机微调平台， 其涉及芯片检测技术领域。 其 技术方案要点包括固定支座和偏转座， 所述固定 支座与偏转座之间分别设置有转轴、 偏转调节组 件和紧固组件； 所述偏转调节组件用于驱动所述 偏转座围绕所述转轴进行偏转调节， 所述紧固组 件用于锁定偏转座与固定支座的相对位置； 所述 偏转调节组件包括分别位于所述转轴两侧的微 调头和弹簧。 本实用新型能够对相机模块的光轴 进行偏转调节， 来降低零件加工误差和装配误差 对相机模块安装精度带来的影 响， 从而提高拍摄 图像的清晰度， 进 而提高检测精度。 权利要求书2页 说明书4页 附图3页 CN 217717471 U 2022.11.01 CN 217717471 U 1.一种用于芯片视觉检测的相机微调平台， 其特征在于： 包括固定支座和偏转座， 所述 固定支座与偏转座之间分别设置有转轴、 偏转调节组件和紧固组件； 所述偏转调节组件用 于驱动所述偏转座围绕所述转轴进行偏转调节， 所述紧固组件用于锁定偏转座与固定支 座 的相对位置； 所述偏转调节组件 包括分别位于所述 转轴两侧的微调头和弹簧。 2.根据权利要求1所述的用于芯片视觉检测的相机微调平台， 其特征在于： 所述偏转座 的数量为多个， 且所述固定支座以及多个所述偏转 座依次连接； 多个所述偏转 座包括X轴偏转 座、 Y轴偏转 座或者Z轴偏转 座中的至少两个。 3.根据权利要求2所述的用于芯片视觉检测的相机微调平台， 其特征在于： 多个所述偏 转座分别包括X轴偏转座、 Y轴偏转座和Z轴转轴， 所述固定支座、 X轴偏转座、 Y轴偏转座以及 Z轴偏转座依次连接 。 4.根据权利要求3所述的用于芯片视觉检测的相机微调平台， 其特征在于： 所述固定支 座与X轴偏转座之间设置有沿X轴方向布置的第一转轴， 以及第一偏转调节组件和第一紧固 组件； 所述X轴偏转座与Y轴偏转座之间设置有沿Y轴方向布置的第二转轴， 以及第二偏转调 节组件和第二紧 固组件； 所述Y轴偏转座与Z轴偏转座之间设置有沿Z轴方向布置的第三转轴， 以及第三偏转调 节组件和第三紧 固组件。 5.根据权利要求4所述的用于芯片视觉检测的相机微调平台， 其特征在于： 所述固定支 座包括第一竖板， 第一竖板上对称设置有两个第一竖直侧板， 所述X轴偏转座位于两个第一 竖直侧板之间； 所述X轴偏转座包括第二竖板， 第二竖板上对称设置有两个水平侧板， 所述Y轴偏转座 位于两个水平侧板之间； 所述Y轴偏转座包括第三竖板， 所述第三竖板上对称设置有两个第二竖直侧板， 所述Z 轴偏转座位于两个第二竖直侧板之间； 所述第一竖直侧板与第 二竖板之间设置有所述第 一转轴， 所述水平侧板与第 三竖板之 间设置有所述第二 转轴， 所述Z轴偏转 座与第三竖板之间设置有所述第三 转轴。 6.根据权利要求5所述的用于芯片视觉检测的相机微调平台， 其特征在于： 所述第 一偏 转调节组件包括安装于其一所述水平侧板上的第一微调头， 以及设置于所述第一竖板与第 二竖板之间的第一弹簧； 所述第二偏转调节组件包括安装于所述第 三竖板上的第 二微调头， 以及 设置于所述第 二竖板与第三竖板之间的第二弹簧； 所述第三偏转调节组件包括安装于其一所述第 二竖直侧板上的第 三微调头， 以及 设置 于该第二竖直侧板与Z轴偏转 座之间的第三弹簧。 7.根据权利要求5所述的用于芯片视觉检测的相机微调平台， 其特征在于： 所述紧固组 件包括紧固螺栓； 所述第一紧固组件包括第 一紧固螺栓， 所述第 一竖直侧板上设置有与 所述第一紧固螺 栓配合的第一调节孔， 所述第二竖板侧壁设置有与所述第一紧 固螺栓配合的第一紧 固孔； 所述第二紧固组件包括第 二紧固螺栓， 所述水平侧板上设置有与所述第 二紧固螺栓配权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217717471 U 2合的第二调节孔， 所述第三竖板上设置有与所述第二紧 固螺栓配合的第二紧 固孔； 所述第三紧固组件包括第三紧固螺栓， 所述Z轴偏转座上设置有与所述第三紧固螺栓 配合的第三调节孔， 所述第三竖板上设置有与所述第三紧 固螺栓配合的第三紧 固孔。 8.根据权利要求3所述的用于芯片视觉检测的相机微调平台， 其特征在于： 所述Z轴偏 转座上设置有用于连接相机的转接 板。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217717471 U 3