(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221359006.4 (22)申请日 2022.06.01 (73)专利权人 罗博特科智能科技股份有限公司 地址 215000 江苏省苏州市工业园区唯亭 港浪路3号 (72)发明人 吴廷斌　张学强　张建伟　罗银兵　 顾正亚　 (51)Int.Cl. G03B 15/06(2021.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种石英舟硅片视觉检测用防反光的背光 板 (57)摘要 本实用新型属于硅片检测领域， 具体的说是 一种石英 舟硅片视觉检测用防反光的背光板， 包 括底板； 所述底板上固接有底座， 所述底座的顶 部设置有第一背光板， 所述第一背光板通过限位 机构安装在 底座上， 所述底座的顶部固接有两个 第一定位柱， 所述第一定位柱贯穿第一背光板， 所述底板的顶部设置有两个第二背光板， 所述第 二背光板通过限位组件安装在底板上， 所述底板 的顶部固接有八个第二定位柱， 所述第二定位柱 贯穿第二背光板， 所述第一背光板的顶部和第二 背光板的顶部均设置为磨砂面； 通过设置第一背 光板和第二背光板顶部为磨砂面， 可防止发生反 光， 影响检测， 通过设置转动柱， 可以使第一压块 转动到另一侧， 不会妨碍第一背光板的拆卸和安 装。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 217954896 U 2022.12.02 CN 217954896 U 1.一种石英舟硅片视觉检测用防反光的背光板， 其特征在于： 包括底板(1)； 所述底板 (1)上固接有底座(2)， 所述底座(2)的顶部 设置有第一背光板(3)， 所述第一背光板(3)通过 限位机构安装在底座(2)上， 所述底座(2)的顶部固接有两个第一定位柱(21)， 所述第一定 位柱(21)贯穿第一背光板(3)， 所述底板(1)的顶部设置有两个第二背光板(4)， 所述第二背 光板(4)通过限位组件安装在底板(1)上， 所述底板(1)的顶部固接有八个第二定位柱(22)， 所述第二定位柱(22)贯穿第二背光板(4)， 所述第一背光板(3)的顶部和第二背光板(4)的 顶部均设置为磨砂面； 所述限位机构包括固接在底座(2)顶部的两个固定块(5)， 所述固定块(5)的顶部通过 轴承转动连接有转动柱(6)， 所述转动柱(6)的顶端 固接有L形板(7)， 所述L形板(7)上螺纹 连接有第一螺纹柱(8)， 所述第一螺纹柱(8)的顶端固接有第一旋块(9)， 所述第一螺纹柱 (8)的底端通过轴承转动连接有第一压块(10)， 所述第一压块(10)与第一背光板(3)紧密贴 合。 2.根据权利要求1所述的一种 石英舟硅片视觉检测用防反光的背光板， 其特征在于： 所 述限位组件包括固定在底板(1)顶部的十六个固定板(11)， 相邻 所述固定板(11)之间固接 有导向杆(12)， 所述导向杆(12)的表面滑动连接有移动板(13)， 所述移动板(13)与相对应 固定板(11)之间固接有弹簧(14)， 所述弹簧(14)套设在导向杆(12)的外侧， 所述移动板 (13)之间固接有连接板(15)， 所述连接板(15)上螺纹连接有第二螺纹柱(16)， 所述第二螺 纹柱(16)的顶端固接有第二旋块(17)， 所述第二螺纹柱(16)的底端通过轴承转动连接有第 二压块(18)， 所述第二压块(18)与第二背光板(4)紧密贴合， 所述第二压块(18)上开设有两 个圆孔(19)， 所述第二定位柱(22)贯穿圆孔(19)， 所述第二压块(18)的顶部固接有四个T形 杆(20)， 所述T形 杆(20)贯 穿连接板(15)。 3.根据权利要求2所述的一种 石英舟硅片视觉检测用防反光的背光板， 其特征在于： 所 述第一背光板(3)上开设有两个第一定位孔(23)， 所述第一定位柱(21)贯穿第一定位孔 (23)。 4.根据权利要求3所述的一种 石英舟硅片视觉检测用防反光的背光板， 其特征在于： 所 述第二背光板(4)上开设有四个第二定位孔(24)， 所述第二定位柱(22)贯穿第二定位孔 (24)。 5.根据权利要求4所述的一种 石英舟硅片视觉检测用防反光的背光板， 其特征在于： 所 述L形板(7)上开设有矩形口(25)， 所述第一压块(10)上固接有限位板(28)， 所述限位板 (28)滑动在矩形口(25)内。 6.根据权利要求5所述的一种 石英舟硅片视觉检测用防反光的背光板， 其特征在于： 所 述移动板(13)上开设有第一 导向孔(26)， 所述 导向杆(12)贯 穿第一导向孔(26)。 7.根据权利要求6所述的一种 石英舟硅片视觉检测用防反光的背光板， 其特征在于： 所 述连接板(15)上开设有四个第二 导向孔(27)， 所述T形 杆(20)贯 穿第二导向孔(27)。 8.根据权利要求7所述的一种 石英舟硅片视觉检测用防反光的背光板， 其特征在于： 所 述第一旋块(9)的表面 开设有防滑纹， 所述第二旋块(17)的表面 开设有防滑纹。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217954896 U 2一种石英舟硅片视觉检测用防反光的背光板 技术领域 [0001]本实用新型涉及硅片检测领域， 具体是一种石英舟硅片视觉检测用防反光的背光 板。 背景技术 [0002]石英舟又名石英玻璃， 石英玻璃是以含二氧化硅物质， 如水晶、 硅石等。 [0003]目前在石英舟硅片生产过程中， 根据 工艺要求需要使用相机和光源配合背光板对 石英舟顶齿部小碎片进行检测。 [0004]但是目前的背光板出现反光的问题， 导致检测操作不准和不清， 且背光板 的拆装 操作较为麻烦， 损坏时更换背光板需要耗费较长时间； 因此， 针对上述问题提出一种石英舟 硅片视觉检测用防反光的背光板 。 实用新型内容 [0005]为了弥补现有技术的不足， 目前的背光板出现反光的问题， 背光板 的拆装操作较 为麻烦的问题， 本实用新型提出一种石英舟硅片视 觉检测用防反光的背光板 。 [0006]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是： 本实用新型所述的一种石英舟 硅片视觉检测用防反光的背光板， 包括底板； 所述底板上固接有底座， 所述底 座的顶部 设置 有第一背光板， 所述第一背光板通过限位机构安装在底座上， 所述底座的顶部固接有两个 第一定位柱， 所述第一定位柱贯穿第一背光板， 所述底板的顶部 设置有两个第二背光板， 所 述第二背光板通过限位组件安装在底板上， 所述底板的顶部固接有八个第二定位柱， 所述 第二定位柱贯穿第二背光板， 所述第一背光板的顶部和第二背光板的顶部均设置为磨砂 面； [0007]所述限位机构包括固接在底座顶部的两个固定块， 所述固定块的顶部通过轴承转 动连接有转动柱， 所述转动柱的顶端固接有L形板， 所述L形板上螺纹连接有第一螺纹柱， 所 述第一螺纹柱的顶端固接有第一旋块， 所述第一螺纹柱的底端通过轴承转动连接有第一压 块， 所述第一压块与第一背光板紧密贴合， 通过设置第一背光板和第二背光板顶部为磨砂 面， 可防止发生反光， 影响检测， 通过设置转动柱， 可以使第一压块转动到另一侧， 不会妨碍 第一背光板的拆卸和安装。 [0008]优选的， 所述限位组件包括固定在底板顶部 的十六个固定板， 相邻所述固定板之 间固接有导向杆， 所述导向杆的表面滑动连接有移动板， 所述移动板与相对应固定板之间 固接有弹簧， 所述 弹簧套设在导向杆的外侧， 所述移动板之间固接有连接板， 所述连接板上 螺纹连接有第二螺纹柱， 所述第二螺纹柱的顶端固接有第二旋块， 所述第二螺纹柱的底端 通过轴承转动连接有第二压块， 所述第二压块与第二背光板紧密贴合， 所述第二压块上开 设有两个圆孔， 所述第二定位柱 贯穿圆孔， 所述第二压块的顶部固接有四个T 形杆， 所述T 形 杆贯穿连接板， 通过设置弹簧， 可以使第二压块离开第二背光板的上方， 不会妨碍到第二背 光板的拆卸和安装。说　明　书 1/4 页 3 CN 217954896 U 3