(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221613968.8 (22)申请日 2022.06.24 (73)专利权人 东莞理工学院 地址 523808 广东省东莞 市松山湖科技产 业园区大 学路1号 (72)发明人 王红成　 (74)专利代理 机构 广州永华专利代理有限公司 44478 专利代理师 劳觅 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/95(2006.01) (54)实用新型名称 一种自适应实际物 距的晶圆检测装置 (57)摘要 本实用新型提供一种自适应实际物距的晶 圆检测装置， 包括供晶圆放置的玻璃载物台， 玻 璃载物台的晶圆放置处上方设有CCD图像传感 器， CCD图像传感器与晶圆放置处之间设有远心 镜头， 设有升降机构， CCD图像传感器装在升降机 构上； 远心镜头处设有距离传感器以测量与晶圆 放置处中物体的距离； 设有控制器， 其连接距离 传感器以接收距离传感器的距离信号， 其连接升 降机构以控制升降机构调节CCD图像传感器的高 度。 这种晶圆检测装置采用自适应实际物距的升 降机构， 即使夹持晶圆的晶圆夹具较厚， 厚度超 过远心镜头的工作距离， 本检测装置也能拍摄到 完整清晰的 晶圆光学图像进行精确的缺陷检测。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217605637 U 2022.10.18 CN 217605637 U 1.一种自适应实际物距的晶圆检测装置， 包括供晶圆放置的玻璃载物台(3)， 玻璃载物 台(3)的晶圆放置处上方设有CCD图像传感器(5)， CCD图像传感器(5)与晶圆放置处之间设 有远心镜头(4)， 其特征是： 设有升降机构(6)， CCD图像传感器(5)装在升降机构(6)上； 远心 镜头(4)处设有距离传感器(10)以测量与晶圆放置处中物体的距离； 设有控制器， 其连接距 离传感器(10)以接收距离传感器(10)的距离信号， 其连接升降机构(6)以控制升降机构(6) 调节CCD图像传感器(5)的高度。 2.如权利 要求1所述的晶圆检测装置， 其特征在于： 升降机构(6)包括链轮(63)、 竖向的 链条(61)和连接控制器的电机(62)， 链条(61)装在链轮(63)上， CCD图像传 感器(5)具体装 在链条(61)上， 控制器控制电机(62)驱动链轮(63)带动链条(61)， CCD图像传 感器(5)实现 升降。 3.如权利 要求2所述的晶圆检测装置， 其特征在于： CCD图像传感器(5)和链条(61)上分 别设有导磁物质(9)， CCD图像传感器(5)具体通过所述导磁物质(9)相 互磁吸安装在链条 (61)上。 4.如权利要求1所述的晶圆检测装置， 其特征在于： 远心镜头(4)下端边沿设有环状的 下射光源(71)照射所述晶圆放置处。 5.如权利要求4所述的晶圆检测装置， 其特征在于： 玻璃载物台(3)底面设有上射光源 (72)照射所述晶圆放置处。 6.如权利 要求5所述的晶圆检测装置， 其特征在于： 上射光源(72)和下射光源(71)的中 心轴位于同一竖轴上。 7.如权利要求1所述的晶圆检测装置， 其特征在于： 设有移位机构， 玻璃载物台(3)固定 在移位机构上， 控制器连接移位机构以控制移位机构带动玻璃载物台(3)竖向移动。 8.如权利要求7 所述的晶圆检测装置， 其特 征在于： 移位机构具体为丝杆模组(2)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217605637 U 2一种自适应实际物距的晶圆检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及晶圆检测技术领域， 尤其涉及一种自适应实际物距的晶圆检测装 置。 背景技术 [0002]制作好的半导体 晶圆， 个别会存在一些缺陷， 例如： 晶圆内生长的晶体有缺陷、 晶 圆有机械损伤， 晶圆表面有残余物等等。 为了避免这类不良晶圆流入市场， 在晶圆制作完成 后， 需利用检测装置对晶圆进 行缺陷检测。 现有的晶圆缺陷检测装置包括载物台， 载物台上 方依次设有远心镜头和CCD图像传感器， CCD图像传感器连接电脑端。 需对晶圆进 行检测时， 测试人员把晶圆放到载物台上， 远心镜头会对晶圆进行放大， 形成高清放大 的晶圆光学图 像， CCD图像传感器的感光面接收到该晶圆光学图像后， 将该晶圆光学图像转化为数字信号 上传到电脑进行图像分析、 处 理和缺陷识别。 [0003]在晶圆检测 之前， 为了使晶圆不被载物台污染和方便取放晶圆， 测试人员会把晶 圆装在晶圆夹具中， 将晶圆及晶圆夹具两者一同放到载物台上进行检测。 不同种类的晶圆 夹具厚度大小不一， 如果将晶圆分别装在厚度不同的晶圆夹具中进行缺陷检测， 则远心镜 头到晶圆表面的物距会有所不同， 一般情况下， 晶圆夹具越厚， 该物距就会越小。 由于远心 镜头的工作 距离和CCD图像传感器的位置是固定的， 如果晶圆夹具很厚， 该物距小于远心镜 头的工作 距离， 则远心镜头所形成的晶圆光学图像会偏离原 来的位置， 导致CCD图像传感器 的感光面接 收不到完整清晰的晶圆光学图像， 电脑接 收到的晶圆图像就会模糊不清， 难以 准确识别出 晶圆缺陷， 可能会将有缺陷的不良晶圆错检成优良晶圆使不良晶圆流入市场。 现有技术中的晶圆缺陷检测装置对晶圆夹具适应力较弱， 若晶圆夹具较厚， 则检测装置需 更换远心镜头或者将 CCD图像传感器更替为变焦相机后方可正常检测， 如此一来， 成本难免 会升高。 发明内容 [0004]本实用新型所解决的技术问题是提供一种自适应实际物距的晶圆检测装置， 其对 晶圆夹具适应力较强， 即使晶圆夹具较厚， 也能拍摄到 完整清晰的 晶圆图像进行缺陷检测。 [0005]为了解决上述技术问题， 本实用新型提供了一种自适应实际物距的晶圆检测装 置， 包括供晶圆放置的玻璃载物台， 玻璃载物台的晶圆放置处上方设有CCD图像传感器， CCD 图像传感器与晶圆放置处之 间设有远心镜头， 设有升降机构， CCD图像传感器装在升降机构 上； 远心镜头处设有距离传感器以测量与晶圆放置处中物体的距离； 设有控制器， 其连接距 离传感器以接收距离传感器的距离信号， 其连接升降机构以控制升降机构调节CCD图像传 感器的高度。 [0006]升降机构包括链轮、 竖向的链条和连接控制器 的电机， 链条装在链轮上， CCD图像 传感器具体装在链条 上， 控制器控制电机驱动链轮带动链条， C CD图像传感器实现升降。 [0007]CCD图像传感器和链条上分别设有导磁物质， CCD图像传感器具体通过所述导磁物说　明　书 1/3 页 3 CN 217605637 U 3