(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221615543.0 (22)申请日 2022.06.24 (73)专利权人 深圳杰微芯片科技有限公司 地址 518000 广东省深圳市坪 山区龙田街 道竹坑社区兰竹东路8号同力兴工业 厂区办公楼 205 (72)发明人 雷远坤　沈志文　 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种芯片外观光学检测装置 (57)摘要 本实用新型提供了一种芯片外观光学检测 装置， 包括： 支撑架， 包括底板， 在底板的侧边设 置有多根竖直的支撑杆， 在支撑杆的上方设置有 芯片放置台， 所述芯片放置台设有中空的放置 槽； 光学显微镜， 位于所述支 撑架的内部， 通过连 接杆与所述支撑杆连接， 且所述光学显微镜的镜 头正对所述放置槽； 本实用新型设置有芯片放置 台， 还设置有用于将芯片翻转的翻转装置， 翻转 装置包括推动气缸、 旋转气缸和夹持部， 推动气 缸驱动夹持部靠近芯片， 夹持住芯片后， 通过旋 转气缸将芯片转动180度， 再松开夹持部， 将芯片 放回原位， 推动气缸复位， 完成对芯片的自动翻 转， 在此过程中， 无需对芯片进行转移， 有效避免 了芯片在转移过程中受污染和损坏的问题。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 218036465 U 2022.12.13 CN 218036465 U 1.一种芯片外观光学检测装置， 其特 征在于， 包括： 支撑架， 包括底板， 在底板的侧边设置有多根竖直的支撑杆， 在支撑杆的上方设置有芯 片放置台， 所述芯片放置台设有中空的放置 槽； 光学显微镜， 位于所述支撑架的内部， 通过连接杆与所述支撑杆连接， 且所述光学显微 镜的镜头正对所述 放置槽； 翻转装置， 外设于所述支撑架， 包括依次设置的推动气缸、 旋转气缸和夹持部， 所述芯 片放置台设有供夹持部翻转的缺口。 2.根据权利要求1所述的芯片外观光学检测装置， 其特征在于， 所述夹持部的夹持面设 置有柔性垫片。 3.根据权利要求2所述的芯片外观光学检测装置， 其特征在于， 所述柔性垫片由聚氨酯 材料制成。 4.根据权利要求1所述的芯片外观光学检测装置， 其特征在于， 所述夹持部包括第 一夹 板和第二夹 板， 所述第一夹 板和所述第二夹 板分别连接 于双向驱动气缸的两个输出端。 5.根据权利要求1至4任一所述的芯片外观光学检测装置， 其特征在于， 所述连接杆可 滑动连接 于所述支撑杆， 通过调节连接杆的高度实现对光学显微镜焦距的调节。 6.根据权利要求1至4任一所述的芯片外观光学检测装置， 其特征在于， 在所述芯片放 置台的下 方设置环形光源， 所述环形光源的光束朝向放置 槽。 7.根据权利要求1至4任一所述的芯片外观光学检测装置， 其特征在于， 所述支撑杆的 数量为三根， 且三根支撑杆 呈三角形布置 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218036465 U 2一种芯片外观光学检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及芯片检测技 术领域， 尤其涉及一种芯片外观光学检测装置 。 背景技术 [0002]国内半导体行业起步较晚， 晶圆芯片产品外观检测通常采用的是光学检测的方 式， 芯片的上下表面均需要进行外观检测， 现有对芯片上下面检测需要将芯片放置在不同 的工位上进行观察， 因此需要对芯片进行转移， 然而芯片在转移过程中容易受到污染或损 坏。 [0003]因此， 需要设计一种芯片外观光学检测装置以解决上述问题。 实用新型内容 [0004]本实用新型提供一种芯片外观光学检测装置， 用于解决现有技术中对芯片外观测 试过程中， 需要对芯片转移至不同工位上进行观察， 容 易对芯片造成污染或损坏的问题。 [0005]为解决上述问题， 本实用新型提供以下技 术方案： 芯片外观光学检测装置， 包括： [0006]支撑架， 包括底板， 在底板的侧边设置有多根竖直的支撑杆， 在支撑杆的上方设置 有芯片放置台， 所述芯片放置台设有中空的放置 槽； [0007]光学显微镜， 位于所述支撑架的内部， 通过连接杆与所述支撑杆连接， 且所述光学 显微镜的镜 头正对所述 放置槽； [0008]翻转装置， 外设于所述支撑架， 包括依次设置的推动气缸、 旋转气缸和夹持部， 所 述芯片放置台设有供夹持部翻转的缺口。 [0009]进一步的， 所述夹持部的夹持面设置有柔 性垫片。 [0010]进一步的， 所述 柔性垫片由聚氨酯材 料制成。 [0011]进一步的， 所述夹持部包括第一夹板和第二夹板， 所述第一夹板和所述第二夹板 分别连接 于双向驱动气缸的两个输出端。 [0012]进一步的， 所述连接杆可滑动连接于所述支撑杆， 通过调节连接杆的高度实现对 光学显微镜焦距的调节。 [0013]进一步的， 在所述芯片放置台的下方设置环形光源， 所述环形光源的光束朝向放 置槽。 [0014]进一步的， 所述支撑杆的数量 为三根， 且三根支撑杆 呈三角形布置 。 [0015]与现有技 术相比， 本实用新型至少具有以下有益效果： [0016]本实用新型设置有芯片放置台， 还设置有用于将芯片翻转的翻转装置， 翻转装置 包括推动气缸、 旋转气缸和夹持部， 推动气缸驱动夹持部靠近芯片， 夹持住芯片后， 通过旋 转气缸将芯片转动18 0度， 再松 开夹持部， 将芯片放回原 位， 推动气缸复位， 完成对芯片的自 动翻转， 在此过程中， 无需对芯片进 行转移， 有效避免了 芯片在转移过程中受污染和损坏的 问题。说　明　书 1/3 页 3 CN 218036465 U 3