(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221666373.9 (22)申请日 2022.06.30 (73)专利权人 熵智科技 （深圳） 有限公司 地址 518034 广东省深圳市福田区华强北 街道福强社区振华路中电迪富大厦7 层703 (72)发明人 踪振华　 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/84(2006.01) G01N 21/95(2006.01) (54)实用新型名称 光路定位校准机构、 超分辨成像装置及其光 路组件 (57)摘要 本申请公开一种光路定位校准机构、 超分辨 成像装置及其光路组件。 光路定位校准机构包 括： 安装座和安装座可拆卸安装的校准盘； 安装 座上设置有安装通孔， 校准盘固定设置在安装通 孔； 校准盘上开设有校准通孔， 校准盘设置有校 准通孔的开口的至少一侧面设置有校准图案； 校 准图案包括多个环形刻度线， 多个环形刻度线以 校准通孔的中心为中心呈共中心设置； 校准图案 还包括相垂直设置的第一基准线和第二基准线， 第一基准线和第二基准线均经过校准通孔的中 心； 其中， 第一基准线和第二基准线二者中的至 少一者上连接有多个间隔设置的第二刻度线， 多 个第二刻度线与多个环形刻度线交错设置。 通过 上述光路定位校准机构可以快速简单的对预设 光路进行精确校准。 权利要求书1页 说明书6页 附图5页 CN 218036360 U 2022.12.13 CN 218036360 U 1.一种光路定位校准机构， 其特 征在于， 包括： 安装座和所述 安装座可拆卸安装的校准盘； 所述安装座上设置有安装通 孔， 所述校准盘固定设置在所述 安装通孔； 所述校准盘上开设有校准通孔， 所述校准盘设置有所述校准通孔的开口的至少一侧面 设置有校准图案； 所述校准图案包括多个环形刻度线， 多个所述环形刻度线以所述校准通 孔的中心为中心呈共中心设置； 所述校准图案还包括相垂直设置的第 一基准线和第 二基准线， 所述第 一基准线和所述 第二基准线均经 过所述校准 通孔的中心； 其中， 所述第 一基准线和所述第 二基准线二者中的至少一者上连接有多个间隔设置的 第二刻度线， 多个所述第二刻度线与多个所述环形刻度线交错设置 。 2.根据权利要求1所述的光路定位校准机构， 其特 征在于， 所述环形刻度线与待测光路所 形成的光斑的轮廓形状相匹配； 所述环形刻度线为圆形或者椭圆形。 3.根据权利要求2所述的光路定位校准机构， 其特 征在于， 所述校准盘的相对两侧均设置有所述校准图案； 且所述校准盘相对两侧的所述校准图 案分别具有匹配不同光斑的轮廓形状的所述环形刻度线。 4.根据权利要求1所述的光路定位校准机构， 其特 征在于， 所述第一基准线或者所述第二基准线为与其所 连接的所述第二刻度线的中垂线。 5.根据权利要求 4所述的光路定位校准机构， 其特 征在于， 所述第一基准线和所述第二基准线均连接有 多个所述第二刻度线的中垂线； 多个所述环形刻度线分别将所述第 一基准线和所述第 二基准线分割成多个等距段， 每 一所述等距段上连接有至少一所述第二刻度线。 6.根据权利要求1 ‑5任一项所述的光路定位校准机构， 其特 征在于， 所述校准图案为 开设在所述校准盘表面的凹槽； 或者 所述校准图案为设置在所述校准盘表面的凸起。 7.根据权利要求6所述的光路定位校准机构， 其特 征在于， 所述安装座与所述校准盘螺 接。 8.根据权利要求6所述的光路定位校准机构， 其特 征在于， 所述安装座包括主体板和连接 于所述主体板的两底板； 两所述底板间隔设置， 且两所述底板上均设置有安装部， 以将所述安装座与预设的构 件固定安装； 每一所述底板上均设置有定位部， 以对所述底板的固定位置进行定位。 9.一种超分辨成像装置的光源光路组件， 其特征在于， 所述光源光路组件包括： 安装基 板和如权利要求1 ‑8任一项所述的光路定位校准机构； 所述安装基板设置有多个光学器件安装部， 多个所述光学器件安装部分别用于固定安 装设定的光学器件， 以基于所述 安装基板形成设定的光路； 所述光路定位校准机构可拆卸安装在所述安装基板的边缘， 且对应所述光路的末端设 置。 10.一种超分辨成像装置， 其特 征在于， 包括如权利要求9所述的光源光路组件。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218036360 U 2光路定位校准机构、 超分辨成像装 置及其光路组件 技术领域 [0001]本申请涉及视觉成像设备领域， 尤其涉及一种光路定位校准机构、 超分辨成像装 置及其光路组件。 背景技术 [0002]随着科技的进步， 数字多媒体技术也不断发展， 如 今3D视觉已应用在工业领域， 激 光扫描三维测量技术凭借其 非接触、 精度高、 适用范围广等优点， 目前已经成为工业领域中 不可或缺的技术， 具有很高的研究价值。 该项技术被广泛用于产品缺陷检查、 自动化装配、 尺寸测量、 文物重 建和视觉导航等领域， 具有非常高的实用价值。 2006年以来各国研究人员 提出结构光超分辨显微镜(St ructureI lluminationMicroscopy， SIM)等。 [0003]在结构光超分辨显微镜设备中需要将激光光源发出的激光经过设定的光路处理 后， 形成预设的结构光， 进而通过该结构光照射至待检测物表面形成激发光， 进而根据该激 发光的光信号转换对应的电信号， 然后同主控装置对该电信号进行处理， 从而成像。 然而， 现有的结构光超分辨显微镜设备的光源光路需要设置偏转或者反射系统对光路的光线方 向进行调整， 导致整个光路结构复杂， 且整个光路完成安装后光路中光线的方向很难满足 设计要求。 因此通常需要采用校准装置对整个光路进行校准， 现有的校准装置对整个光路 进行校准时通常较为复杂且通常只能对具有特定形状光斑的光线 进行校准。 实用新型内容 [0004]本申请的主要目的是提出一种光路定位校准机构、 超分辨成像装置及其光路组 件， 旨在解决上述的技 术问题。 [0005]为实现上述目的， 本申请提出一种光路定位校准机构， 包括： [0006]安装座和所述 安装座可拆卸安装的校准盘； [0007]所述安装座上设置有安装通 孔， 所述校准盘固定设置在所述 安装通孔； [0008]所述校准盘上开设有校准通孔， 所述校准盘设置有所述校准通孔的开口的至少一 侧面设置有校准图案； 所述校准图案包括多个环形刻度线， 多个所述环形刻度线以所述校 准通孔的中心为中心呈共中心设置； [0009]所述校准图案还包括相垂直设置的第一基准线和第二基准线， 所述第一基准线和 所述第二基准线均经 过所述校准 通孔的中心； [0010]其中， 所述第一基准线和所述第二基准线二者中的至少一者上连接有多个间隔设 置的第二刻度线， 多个所述第二刻度线与多个所述环形刻度线交错设置 。 [0011]可选地， 所述环形刻度线与待测光路所 形成的光斑的轮廓形状相匹配； [0012]所述环形刻度线为圆形或者椭圆形。 [0013]可选地， 所述校准盘 的相对两侧均设置有所述校准图案； 且所述校准盘相对两侧 的所述校准图案分别具有匹配不同光斑的轮廓形状的所述环形刻度线。 [0014]可选地， 所述第一基准线或者所述第二基准线为与其所连接的所述第二刻度线的说　明　书 1/6 页 3 CN 218036360 U 3